信網(wǎng)3月21日訊(記者 王田)近日，致真精密儀器(青島)有限公司(以下簡稱致真精密儀器)研制出的中國首臺產(chǎn)業(yè)級晶圓磁光克爾測量儀正式上市，打破了美國企業(yè)在該領(lǐng)域的壟斷，標(biāo)志著磁性芯片量產(chǎn)所需的光學(xué)檢測設(shè)備從此實現(xiàn)自主可控。檢測設(shè)備的應(yīng)用貫穿于芯片制造全流程，是保障芯片制造工藝穩(wěn)定、產(chǎn)品合格的關(guān)鍵。此次上市的產(chǎn)業(yè)級晶圓磁光克爾測量儀是用于芯片制造過程中檢測的關(guān)鍵設(shè)備，經(jīng)第三方測評，其檢測速度和精度均優(yōu)于國際水平。

致真精密儀器成立于2019年，是北京航空航天大學(xué)孵化的國家高新技術(shù)企業(yè)。主要業(yè)務(wù)為微電子領(lǐng)域測試設(shè)備的研發(fā)制造和銷售，包括磁性芯片產(chǎn)線測試設(shè)備和高端科研儀器。依托產(chǎn)學(xué)研協(xié)同合作優(yōu)勢，致真精密儀器在2020年研制出中國首款商用磁光克爾顯微鏡，分辨率達到300納米，可用于檢測磁性材質(zhì)質(zhì)量、辨識缺陷位置等，適用于磁性芯片等磁性材料器件的測試和產(chǎn)品研發(fā)。并相繼研發(fā)完成高精度磁滯回線測量儀、晶圓級磁場探針臺、晶圓級磁性測量儀等多款高科技產(chǎn)品，已與清華大學(xué)、中國科學(xué)院物理研究所等建立了密切的合作關(guān)系。

下一步，青島市工業(yè)和信息化局將依托本地晶圓制造、封測項目，大力發(fā)展配套設(shè)備業(yè)，大力支持國產(chǎn)配套設(shè)備研發(fā)攻關(guān)和上線認(rèn)證，加快引進國內(nèi)外集成電路關(guān)鍵設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)，為構(gòu)建集成電路全產(chǎn)業(yè)鏈生態(tài)體系提供重要支撐，著力打造北方集成電路產(chǎn)業(yè)高地。